隔膜泵是一種旋轉式變容真空隔膜泵。其極限真空度可達5×10-2 Pa，又稱機械增加隔膜泵。其工作原理是通過二個“8”字形的轉子旋轉，通過容積的改變來實現抽氣和排氣。其工作原理與羅茨鼓風機相似。
維修保養：
① 應經常保持隔膜泵房環境清潔干燥。
② 應經常注意各部分潤滑油的狀況，如發現不足時，應及時補充。如發現不清潔時，應及時更換，并注意螺塞重新旋進去時應保證密封。隔膜泵工作壓差應控制在旁通閥允許的壓差范圍內，否則易燒壞電機。
③ 在拆修時各部件不能用重錘敲打。
④ 拆下的零件避免碰傷、擦毛。特別要注意密封面的平整光潔，否則會引起再裝配后漏氣現象，隔膜泵不能恢復原有性能。
⑤ 拆下的零件用汽油、四氯化碳或乙醚清洗，干燥后才能裝配。
⑥ 裝配時要注意轉子兩端與左右側蓋的間隙，轉子與轉子，轉子與隔膜泵體的間隙按規定要求調整。
⑦ 隔膜泵體左右側蓋之間之結合面均采用107樹脂(即室溫硫化硅橡膠)密封。
⑧ 裝配前必須注意螺旋套方向，主動軸上靠近電機一側為左旋，隔膜泵齒輪箱一側為右旋，從動軸上則相反。
隔膜泵維護與保養
(1)檢查隔膜泵管路及結合處有無松動現象。用手轉動隔膜泵，試看隔膜泵是否靈活。
(2)向軸承體內加入軸承潤滑機油，觀察油位應在油標的中心線處，潤滑油應及時更換或補充。
(3)擰下隔膜泵泵體的引水螺塞，灌注引水(或引漿)。
(4)關好出水管路的閘閥和出口壓力表及進口真空表。
(5)點動電機，試看電機轉向是否正確。
(6)開動電機，當隔膜泵正常運轉后，打開出口壓力表和進口真空泵視其顯示出適當壓力后，逐漸打開閘閥，同時檢查電機負荷情況。
(7)盡量控制隔膜泵的流量和揚程在標牌上注明的范圍內，以保證隔膜泵在zui率點運轉，才能獲得zui大的節能效果。
(8)隔膜泵在運行過程中，軸承溫度不能超過環境溫度35C，zui高溫度不得超過80C 。
(9)如發現隔膜泵有異常聲音應立即停車檢查原因。
(10)隔膜泵要停止使用時，先關閉閘閥、壓力表，然后停止電機。
(11)隔膜泵在工作*個月內，經100小時更換潤滑油，以后每個500小時，換油一次。
(12)經常調整填料壓蓋，保證填料室內的滴漏情況正常(以成滴漏出為宜)。
(13)定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應及時更換。
(14)隔膜泵在寒冬季節使用時，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質放凈。防止凍裂。